有鑑於全球汽車市場蓬勃發展及全球環境保護趨勢,大永真空以節能減碳的概念為出發點,推出了結合PVD及PECVD技術的新製程之DYPE-經濟型爐內塗佈真空鍍膜機。其半製程是在有底塗的基材上蒸鍍上一層鋁(傳統的PVD製程)接著將monomer(化學聚合物)導入氣體,透過電漿Plasma,讓它產生裂解與聚合,把不需要的成份透過pump排出,留下的則形成結構緻密的保護層,此膜層具有高阻隔性(耐熱耐酸鹼)及親/疏水性(PECVD製程)。此皆是在同一個真空腔體中分別執行PVD及PECVD的鍍膜製程。
傳統鍍膜製程主要有大氣噴塗底漆、真空鍍膜及大氣噴塗面漆,造成良率低、製程時間長、環境汙染、耗能及耗費漆料等問題,而大永真空研發的PVD及PECVD製程,則可將「真空鍍膜及面漆結合」(半製程)或是將「底漆、真空鍍膜及面漆」(全製程)結合在同一真空腔體中完成,可避免傳統製程所會有的問題。新一代的DYPE系列設計中,除了延續DYC系列超高品質外,更加入了Base/Top Coating的功能;徹底免除了鍍膜前後所需的表面噴塗製程,大大提高生產效率,同時避免了大量噴塗所造成的污染與浪費。
DYPE系列規格
型號 |
DYPE-1300 |
DYPE-1600 |
DYPE-1800 |
腔體直徑 |
1300mm(ø) |
1600mm(ø) |
1800mm(ø) |
腔體高度 |
1850mm(H) |
||
自轉軸數 |
一門6軸 |
一門6/8軸 |
一門6/8軸 |
有效鍍膜直徑 |
350mm |
480/400mm |
560/460mm |
有效鍍膜高度 |
1500mm(H) |
||
鍍膜方式 |
蒸鍍PVD |
||
蒸鍍源數量 |
18 ~ 28 支 |
||
蒸鍍電源功率(kW) |
30kW |
||
電漿聚合 |
MF PECVD Process |
||
極限真空(Torr) |
5 x 10-6 Torr |
||
製程週期 |
≦18分/週期 |
||
需求電源 |
3相電源 380V 110kVA |
3D圖
環境模擬測試
膜層反射利率
產品鍍膜效率
- 設計PECVD雙反應區:提高Monomer解離率及提升膜厚均勻度,並縮短製程時間。
- 最佳化排氣系統:縮短管路長度,搭配知名廠牌Pump達到最佳排氣效果。
- 無暴露於真空環境中之閥桿:免除汙染物附著於閥桿表面,降低腔體漏氣之機會。
- 觸控電腦IPC:可儲存較複雜的製程參數及歷史紀錄,並能執行網路遠端控制,Trouble Shooting零時差。