抗指紋膜為表面具有自潔功能(self-cleaning)、具疏水疏油效果(Hydrophobic/Oleo phobic)且抗汙耐刮的薄膜,廣泛應用於面板、手機屏幕等。早期抗指紋沾附技術多是使用PFOS(全氟鋅磺酸)和PFOA(全氟鋅酸)塗佈,可應用於紡織品、地毯、鞋材等製造領域,但由於含鹵材料具危害性,因此國際組織都已制定相關無鹵規範限制使用。爾後各家大廠紛紛研製環保噴塗材料,但製程工藝方面仍以噴塗或浸潤藥劑後再以烘烤或UV固化,鍍膜過程中藥劑耗量大且步驟繁瑣。
大永真空採用真空塗佈工藝,可有效節省藥劑使用且鍍膜後無需烘烤或UV固化,鍍膜後成品可耐綱絲絨磨耗8000次,玻璃基材鍍膜後硬度達7H以上,動摩擦係數≤0.03。
適用基質 | 塑膠、樹脂、玻璃 |
塗層技術 | 電阻式蒸鍍 |
塗層材料 | 環保材料 |
耐久性 | 永久性 |
膜層鋼絲絨耐磨耗 | >8000次 |
膜層動磨擦係數 | ≤0.03 |
加工後硬度 | 依素材(玻璃素材>7H) |
環境汙染 | 低 |
腔室材質 | SUS304 |
操作系統 | IPC+PLC 自動、手動控制。 |
抽氣速率 |
常溫常壓下,潔淨、乾燥且無素材的腔體, 從大氣抽至3 x 10-4 Torr ≦ 5分鐘。 |
腔體直徑 | 1800mm |
腔體高度 | 1850mm |
自轉軸數 | ~6/8 |
有效鍍膜直徑 | ~ 560/460mm |
有效鍍膜高度 | ~ 1500mm |
鍍膜方式 | 電阻式蒸鍍 |
蒸鍍源數量 | 18 ~28 pcs |
蒸鍍電源功率(kW) | 30kW |
製程週期 | ≤20mins |
製程氣體需求 |
Ar:純度99.99% O2:純度99.99% |
- 設計PECVD雙反應區:提高Monomer解離率及提升膜厚均勻度,並縮短製程時間。
- 最佳化排氣系統:縮短管路長度,搭配知名廠牌Pump達到最佳排氣效果。
- 無暴露於真空環境中之閥桿:免除汙染物附著於閥桿表面,降低腔體漏氣之機會。
- 完整的製程參數及歷史紀錄,便於使用者撈取歷史資料及分析。
- 雙語介面,圖像式操作,易於使用。
- 獨立安全迴路電源,多組急停開關設置,提升人員操作安全性。